Depozisyon
Jwenn plis enfòmasyon epi akselere pwosesis devlopman an.
Advanced Energy bay solisyon ekipman pou pouvwa ak kontwòl pou aplikasyon kritik pou depo fim mens ak jeyometri aparèy. Pou rezoud defi pwosesis waf yo, solisyon konvèsyon pouvwa presizyon nou yo pèmèt ou optimize presizyon pouvwa, vitès, ak repetabilite pwosesis.
Nou ofri yon pakèt frekans RF, sistèm pouvwa DC, nivo pouvwa pèsonalize, teknoloji matche, ak solisyon siveyans tanperati fib optik ki vrèman pèmèt ou pi byen kontwole plasma pwosesis la. Nou entegre tou Fast DAQ™ ak suite akizisyon done ak aksè nou an pou bay enfòmasyon sou pwosesis la epi akselere pwosesis devlopman an.
Aprann plis bagay sou pwosesis fabrikasyon semikondiktè nou yo pou jwenn solisyon ki adapte ak bezwen ou yo.
Defi ou a
Soti nan fim yo itilize pou trase dimansyon sikwi entegre yo rive nan fim kondiktif ak izolan (estrikti elektrik), rive nan fim metal (entèkoneksyon), pwosesis depozisyon ou yo mande kontwòl nan nivo atomik — pa sèlman pou chak karakteristik men atravè tout waf la.
Anplis estrikti a li menm, fim ou depoze yo dwe gen bon kalite. Yo bezwen posede estrikti grenn, inifòmite, ak epesè konfòm ki nesesè yo, epi yo pa bezwen gen vid - e sa anplis de bay estrès mekanik ki nesesè yo (konpresyon ak tansyon) ak pwopriyete elektrik.
Konpleksite a kontinye ap ogmante. Pou adrese limitasyon litografi yo (nœuds sub-1X nm), teknik modèl doub ak kadrip oto-aliyen yo mande pou pwosesis depozisyon ou a pwodui epi repwodui modèl la sou chak waf.
Solisyon nou an
Lè w ap deplwaye aplikasyon depo ak jeyometri aparèy ki pi enpòtan yo, ou bezwen yon lidè mache serye.
Teknoloji livrezon pouvwa RF Advanced Energy ak teknoloji matche gwo vitès pèmèt ou pèsonalize ak optimize presizyon pouvwa, vitès, ak repetabilite pwosesis ki nesesè pou tout pwosesis depo PECVD ak PEALD avanse yo.
Itilize teknoloji dèlko DC nou an pou amelyore repons ark konfigirab ou a, presizyon pouvwa, vitès, ak repetabilite pwosesis ki nesesè pou pwosesis depo PVD (sputtering) ak ECD yo.
Benefis
● Amelyorasyon estabilite plasma ak repetabilite pwosesis ogmante sede a
● Livrezon RF ak DC presi ak kontwòl dijital konplè ede optimize efikasite pwosesis la
● Repons rapid pou chanjman plasma ak jesyon ark
● Pulsasyon milti-nivo ak reglaj frekans adaptatif amelyore selektivite vitès grave a
● Sipò mondyal disponib pou asire maksimòm disponiblite ak pèfòmans pwodwi